Field emission scanning electron microscope

Microscopio elettronico a scansione a emissione di campo FE-SEM in alto vuoto Supra 40 della Zeiss con colonna GEMINI.
Lo strumento è dotato di vari detector: High efficiency In-lens detector, Everhart-Thornley Secondary Electron Detector e Back-Scattered Electron Detector.

• Energia degli elettroni: 200 V - 30kV
• Distanza di lavoro: 2-30 mm
• Risoluzione max ottenuta: 1 nm @ 20kV con detector In-lens

Il microscopio è inoltre dotato di microsconda per microanalisi EDS (della Oxford Instruments) e di un modulo STEM per scanning transmission electron microscopy.

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